硅碳負極材料屬于鋰離子電池四大主材：正極材料、負極材料、電解液、隔膜中的負極材料，對于鋰離子電池的能量密度（車輛續(xù)航）、循環(huán)性能（使用壽命）、充放電倍率（快充效率）以及低溫放電性能（車輛在低溫環(huán)境下的續(xù)航衰減）具有較大的影響。
硅碳負極由于其高理論比容量被視為是繼石墨之后最具發(fā)展前景的負極材料，成為研究的熱點；國內(nèi)已有多家企業(yè)申請硅碳負極材料專利，預計2025年硅碳負極材料市場滲透率將上升，2035年市場規(guī)模將達660億美元，硅膨脹問題獲改善，硅碳負極材料需求有望進一步增長。
穩(wěn)定性好促進高品質(zhì)生產(chǎn)
除了硅膨脹問題，硅碳負極材料在CVD工藝生產(chǎn)過程中還會遇到其他問題，乙炔作為主要碳源時產(chǎn)率高且質(zhì)量穩(wěn)定，丙酮作為溶劑幫助乙炔溶解和穩(wěn)定，液體的丙酮會少量進入流道，對質(zhì)量流量器的精度產(chǎn)生較大的影響。尤其是靠熱傳導計算和控制流量的熱式質(zhì)量流量控制器，而層流壓差式質(zhì)量流量控制器由于層流元件是機械結(jié)構(gòu)件，有少量的霧化丙酮進入流道也會快速排出，影響較小。
通過CVD方式制備得到的硅碳負極材料，核心是通過多孔碳骨架來儲硅，向多孔碳顆粒的孔隙里通入硅烷氣體，通過高溫熱解使氣體沉積形成硅納米顆粒分散在多孔碳的孔隙里。但是如果管道出現(xiàn)泄漏或者質(zhì)量流量控制器的漏率較高，硅烷與空氣中的氧氣反應會出現(xiàn)粉體，導致熱式質(zhì)量流量控制器的毛細管堵塞，影響傳熱系數(shù)，也會導致發(fā)熱絲的老化，而層流壓差式質(zhì)量流量控制器沒有旁路，所有氣體均從層流元件經(jīng)過，層流元件不太容易堵塞，即使有少量粉體堵塞也不會對絕大部分區(qū)域造成影響，因此層流原理相比熱式更能抗污染。易度智能的質(zhì)量流量控制器氦檢漏率可以達到≤1x10¹ºpa·m³/s，有效減少粉體的出現(xiàn)。
對于CVD設備中，需要用到的氣體控制類型有很多，如硅烷、乙炔、氫氣、氬氣、氧氣等，同時需要多通道協(xié)同控制實現(xiàn)；熱式質(zhì)量流量控制器以熱傳學為基礎(chǔ)，每臺產(chǎn)品出廠時需要用實際氣體標定，所以原則上只能適用于一種氣體。層流原理不同介質(zhì)通過黏度區(qū)分，黏度是氣體的物性參數(shù)，每種氣體的黏度在特定工況下是定值，只要將黏度系數(shù)和算法設置好，就可以做到直接切換工質(zhì)，可適用于多種氣體。
針對納米硅合成、氣相沉積過程中乙炔的分解和碳包覆層的形成等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。易度高精型質(zhì)量流量控制器EC系列憑借其高準確度（±0.5%S.P.）、高重復性(±0.1%Rd)、耐腐蝕性、優(yōu)異的密封性能和產(chǎn)品長期穩(wěn)定性，保障了工藝穩(wěn)定性與材料一致性，促進了材料性能（如能量密度、循環(huán)壽命）提升，并顯著改善生產(chǎn)安全。獲得了客戶的一致好評。
±0.5%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍)
±0.1%F.S.(滿量程)(0.5%～20%量程范圍)
Span：≤±0.1%Rd/100kPa（基準100kPa(絕壓))
Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）
讓每一微升氣體，精準定義硅碳負極性能！實驗室到量產(chǎn)，我們?yōu)楣に嚪€(wěn)定性護航!
