最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
S系列氣體層流質量流量計用于實時測量過程氣體的流量，特有的層流壓差技術及獨創核心算法，內置的高精度壓力、溫度傳感器實時補償，產品具有高精度、高重復性、低零點、溫度、壓力漂移量等特點，強大的觸摸顯示屏可顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量、累計流量，多氣體觸摸式切換，無須轉化系數。
| 型 號 |
PIPG-S101 PIPG-S201 |
PIPG-S102 PIPG-S202 |
PIPG-S120 PIPG-S220 |
PIPG-S150 PIPG-S250 |
| 流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
| 性能參數 | ||
|---|---|---|
| 準 確 度 |
S100：±1.0%Rd（20%～100%量程范圍）或 ±0.2％F.S.（≤20%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程）
S200：±0.5%Rd（20%～100%量程范圍）或 ±0.1％F.S.（≤20%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程）
S100-WR：±1.0%Rd （10%～100%量程范圍） 或 ±0.1％F.S.（≤10%量程范圍）（Rd-讀數 F.S.-滿量程） |
|
| 重復精度 |
S100：±0.2%F.S.
S200：±0.1％F.S.
S100-WR：±0.2％F.S. |
|
| 壓力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100kPa；Span：≤±0.2%F.S./100kPa（基準100kPa(絕壓)) | |
| 溫度漂移 | Zero：≤±0.02%F.S./℃ ；Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） | |
| 工作范圍 | 1%～100%F.S.(最大可達120%F.S.) | |
| 使用條件 | |
|---|---|
| 介質溫度范圍 | -20℃～60℃ |
| 環境溫度范圍 | -20℃～50℃ |
| 使用濕度范圍 | 0%～98%（無冷凝） |
| 滿量程壓損 | 4kPa |
| 耐 壓 | 1.5MPa |
| 工作壓力范圍 | 60kPa~1MPa |
| 供電電壓 | 24V±20% |
| 消耗電流 | < 150mA（＜3W） |
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） |
| 接氣部材質 | SUS316L |
| 顯示方式 | 彩色LCD觸摸屏 |
| 輸出方式 | 標配：數字：RS485； 選配：ROFIBUS 模擬：0~5V/4～20mA； |
