最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
MC系列層流質量流量控制器與SC系列層流質量流量控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，基于壓力式的層流壓差技術，不受制于來流狀態的影響，配合高精度壓力、溫度傳感器實現精確壓力、溫度補償，使得產品在較寬的溫度、壓力范圍內迅速達到流量設定值，保障了測量的精度和控制的穩定性。模擬信號和數字信號的通訊方式，適用于配套過程控制的客戶。
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型 號 |
PIPG-MC101 PIPG-MC201 |
PIPG-MC102 PIPG-MC202 |
PIPG-MC120 PIPG-MC220 |
PIPG-MC150 PIPG-MC250 |
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流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、2000、 3000、4000、5000 SLPM |
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閥門種類 |
N/C（常閉型） |
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性能指標 |
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準 確 度 |
MC100：±1.0%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍) ，±0.2%F.S.(滿量程)(1%～20%量程范圍)、精度最大范圍(-20℃～60℃)
MC200：±0.5%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍) ，±0.1%F.S.(滿量程)(1%～20%量程范圍)、精度最大范圍(-20℃～60℃) |
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重復精度 |
MC100：±0.2%F.S.
MC100-WR：±0.2%F.S. |
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| 壓力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100kPa；Span：≤±0.2%F.S./100kPa（基準100kPa(絕壓)) | |||
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溫度漂移 |
Zero：≤±0.02%F.S./℃；Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） |
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工作范圍 |
1%～100%F.S. |
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響應時間 |
≤700ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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介質溫度范圍 |
-20℃～60℃ |
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| 環境溫度范圍 | -20℃～50℃ | |||
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使用濕度范圍 |
0%～98%（無冷凝） |
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| 工作壓差范圍 | 100kPa~700kPa | |||
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
1MPa |
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供電電壓 |
24V±20% |
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消耗電流 |
< 500mA（＜12W） |
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安裝方式 |
無指定（任意角度） |
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接氣部材質 |
SUS316L |
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密封部材質 |
橡膠圈密封：氟橡膠 |
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通信方式 |
標配：數字：RS485； 選配：PROFIBUS 模擬：0～5 V/4~20mA |
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