氣體質(zhì)量流量控制器是配氣儀中的核心部件，可提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制，讓氣體混合、稀釋更便捷。

易度MC100標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器采用層流壓差式原理，具有高可靠、高穩(wěn)定、高精度和高重復(fù)性的優(yōu)勢，同時在抗過載能力和抗污染能力上表現(xiàn)優(yōu)越，助力配氣儀廠商實現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣體濃度混合配比。

應(yīng)用要求：

配氣儀的氣體配比通常為100:1等，常見的有兩路甚至更多，一般兩路為一路標(biāo)氣，一路稀釋氣體。要實現(xiàn)精準(zhǔn)配氣，需要流量控制器在各流量點控制氣體準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好，同時對壓力波動不敏感。

常見配氣儀氣體配比圖

主要問題：

1、控制穩(wěn)定：配氣儀受前端壓力波動影響大，影響流量穩(wěn)定性，要求流量控制器具有高穩(wěn)定性，減少壓力波動影響；

2、無漏氣：要求流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥流量為零時，要處于常閉狀態(tài)，閥門不漏氣，無流量；

3、抗污染能力：配氣儀介質(zhì)用到腐蝕性氣體，造成流量控制器流道易堵塞，堵塞與流道管徑的粗細直接相關(guān)；

4、抗過載能力：配氣儀控制氣體從低流量點切換到高流量點時，受到瞬間大流量沖擊，抗過載能力弱會直接影響流量控制器的使用壽命。

解決方案：

1、高穩(wěn)定性：易度流量控制器內(nèi)置高精度壓力、溫度傳感器,可進行溫度、壓力的實時補償，700ms的快速響應(yīng)時間，快速糾正、保持氣體控制的流速恒定，提供穩(wěn)定的氣體流量控制；

2、無漏氣：易度流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥系自主研發(fā)，結(jié)構(gòu)緊湊，密封性好，不漏氣，無流量；

3、抗污染能力強：易度流量控制器氣體流道為單通道設(shè)計，流道管徑相對較粗，不易受到氣體的污染，造成堵塞；

4、抗過載能力高：易度流量控制器內(nèi)置的壓差傳感器，可承受50倍及以上的過載流量，抗過載能力強，解決配氣儀低流量段瞬間過載問題。