多組分混合標準氣體是環(huán)保行業(yè)實現(xiàn)監(jiān)測設備多點標定的重要工具，以質量流量控制器為配氣部件的動態(tài)校準儀(或動態(tài)氣體稀釋裝置等)，利用高濃度標氣和零氣，通過對各氣路氣體流量的精確控制，實現(xiàn)多濃度點氣體的連續(xù)、穩(wěn)定配制，并以低成本、智能檢測、自動配氣、不受使用環(huán)境溫度和壓力影響等優(yōu)勢被廣泛應用。

流量控制器在動態(tài)配氣儀中起著重要作用。穩(wěn)定、高重復的標氣和零氣精準流量控制，可提升動態(tài)校準儀高精度、連續(xù)、穩(wěn)定輸出濃度。

—— 客戶應用背景 ——

作為動態(tài)校準儀的知名研發(fā)生產商，對流量控制器的現(xiàn)場表現(xiàn)有多方面的實際需求。氣體流量控制器的重復性和可靠性、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題，最終會對客戶造成不同程度的困擾。提高動態(tài)校準儀的精度和穩(wěn)定性，減少最終用戶的長期使用和維護成本，成為發(fā)展和技術進步的方向。

—— 關鍵關注點 ——

動態(tài)校準儀簡化原理框圖（自制圖片，不代表真實原理結構）

• 高重復性的配氣

• 對溫度和壓力漂移，環(huán)境適應性好

• 對前端壓力波動不敏感

• 寬量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內達到±1%S.P.）

• 高可靠，長期精度不漂移，控制穩(wěn)定性好

• 要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力

—— 解決方案 ——

提高動態(tài)校準儀連續(xù)穩(wěn)定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質量流量控制器作為標準配氣元件，選用閥門后置型產品，可監(jiān)測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。

• 內置的比例調節(jié)閥和流量傳感器具有高分辨率和穩(wěn)定性

• 內置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環(huán)境適應性

• 層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對前端壓力不敏感

• 層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優(yōu)勢

• 層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石

• 自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力

• 易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復性上有明顯的優(yōu)勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實現(xiàn)毫秒級快速控制。比例調節(jié)閥在設計中充分考慮密封性和內漏問題，將客戶的關鍵關注點完美解決，幫助客戶將動態(tài)配氣儀提升到更高品質和更優(yōu)性能。

—— 推薦產品 ——

MCF100系列

• 流量范圍： 0.1SCCM~5000SLPM

• 精度：±1.0%S.P.

• 重復性：±0.2%F.S.

• 通訊方式：RS485(Modbus RTU）

關于易度

陜西易度智能科技有限公司專注于研發(fā)高端制造業(yè)過程工藝中的流體微流量控制核心器件，形成以層流元件、精密比例調節(jié)閥、壓差傳感器和軟件算法為核心的高精度層流質量流量計和控制器等產品，為半導體、生物制藥、新材料、新能源、環(huán)保等高端制造業(yè)提供高精度微流量測控核心部件和解決方案。